煙臺志德微波能技術有限公司
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微波殺菌設備的微波管工作需要高真空環境：微波管是一種放大微波信號的電真空器件，主要包含電子槍、慢波系統、聚束系統、輸能裝置和收集極這五個基本功能部件。
電子槍的功能是由陰極產生電子束，然后利用聚焦極、陽極把電子束會聚、加速，形成一定截面形狀、尺寸和能量的電子注。
慢波系統是用來減慢電磁波沿管子傳播速度的裝置，使電子注和高頻電磁場的相互作用，把電子束的能量轉換為的高頻微波能量，使微波管能完成信號放大作用。
聚束系統利用磁場約束電子注的發散，使其順利穿過慢波系統。輸能裝置是被放大微波信號的入口和出口。
收集極用來收集穿越慢波系統完成能量交換作用后的電子注電流。
可見，微波管利用電場、磁場來控制電子束在其內部運動，使電子束產生、加速、運動、收集以及和信號相互作用，以至達到信號放大的目的。因此，避免電子對氣體分子間的碰撞，呆證電子在微波管內部的運動規律，方止發射熱電子的陰極氧化中毒，把微波管抽到一定真空度保證微波管的正常工作，是絕對必要的。微波管的整個壽命期間要求維持高真空或超高真空狀態。真空度的好環直接影響到微波管的可靠性能。
微波管中在排管處增加小離子泵（鈦泵）和在電子槍處增加吸氣劑，同微波管一起排氣，排氣系統工藝要求高溫烘烤，對吸氣劑進行激活，排氣過程同時對鈦泵也進行了排氣，在冷封離后管內的殘余氣體及管內零件重新釋放出來的氣體，由鈦泵和吸氣劑共同抽除，維護管內的真空度。在后續的工許過程中，發現有微露氣的情況下，鈦泵的電流還能幫助檢測出微漏點，從而方便了生產，降低了微波管的報廢率。在增加吸氣劑的微波管中，電子槍高壓打火的幾率大大減少，長時間儲存后，對微波管直接加電而不出現放氣或大伙現象。
可見，獬射離子泵、鈦泵和吸氣劑等吸附真空泵在微波殺菌設備的生產制造中，提高和維持了高真空度，從而提高了微波管的可靠性，增加了使用壽命。
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